一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310136499.4
IPC分类号：G01N23/04
申请日期：
2013-04-18
申请人：
中国科学院高能物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法
申请号	CN201310136499.4	申请日期	2013-04-18
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-07-10	公开/公告号	CN103196929A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N23/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N23/00 利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如X射线、（或中子，未包括在G01N3/00至G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00）〔1，2006.01〕 G01N23/02 通过使辐射透过材料 G01N23/04 并形成材料的图片〔1，2006.01，2018.01〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;3;/;0;4查看分类表>
申请人	中国科学院高能物理研究所	申请人地址	北京市石景山区玉泉路19号乙多学科大楼1113 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	锐影检测科技（济南）有限公司	当前权利人	锐影检测科技（济南）有限公司
发明人	王雅霄;魏存峰;舒岩峰;阙介民;孙翠丽;王哲;曹大泉;孟凡辉
代理机构	北京凯特来知识产权代理有限公司	代理人	郑立明;陈亮

摘要

本发明公开了一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法。X射线源位于所述装置的最底端，用于向上发射锥束X射线；载物台设置在所述X射线源的上方，在空间三维方向上作平移运动；载物台的正上方设置有所述固定架，固定架与所述转臂相连，使所述转臂做圆周旋转运动；所述转臂上设置有导轨，平板探测器位于该导轨上，利用该导轨在所述转臂上滑动；且平板探测器结合其在转臂上的滑动以及转臂的圆周旋转运动，定位于所形成半球面的任意位置。该扫描装置灵活多变，能够在多种扫描倾角、360度旋转角、以及多种放大比条件下对板状构件样品进行断层成像，并最大限度的简化系统的机械运动复杂度，提高系统性能。

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