光罩、显示面板

发明专利有效专利

申请号：
CN202110262879.7
IPC分类号：G03F1/00
申请日期：
2021-03-11
申请人：
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光罩、显示面板
申请号	CN202110262879.7	申请日期	2021-03-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-28	公开/公告号	CN112859507A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F1/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F1/00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备〔3，2012.01〕	IPC分类号	G;0;3;F;1;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳市华星光电半导体显示技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市华星光电半导体显示技术有限公司	当前权利人	深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
发明人	练文东
代理机构	深圳紫藤知识产权代理有限公司	代理人	远明

摘要

本发明实施例公开了一种光罩、显示面板。光罩包括第一开口以及围绕第一开口的掩膜条；掩膜条包括第一部分和的第二部分；其中，第二部分的平均厚度大于第一部分的平均厚度，第一部分和第二部分围成连通第一开口的总空间，总空间包括第一空间和第二空间，第一部分包括围绕第一空间的第一壁，第二部分包括围绕第二空间的第二壁，第一壁与第二壁具有接触部，第二壁在接触部处与水平面的夹角小于第一壁在接触部处与水平面的夹角。本发明实施例通过在现有光罩远离现有开口的一侧增加第二空间，增加了光罩开口边缘区域镀膜材料的容纳空间，镀膜材料在沉积过程中可以更快速达到目标膜厚，减小了未达标膜层区域的面积，改善了镀膜的工作性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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