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利用辉光放电低温等离子体法在钛合金表面渗氮的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910942643.0
  • IPC分类号:C23C8/24;C23C8/02
  • 申请日期:
    2019-09-30
  • 申请人:
    辽宁科技大学
著录项信息
专利名称利用辉光放电低温等离子体法在钛合金表面渗氮的方法
申请号CN201910942643.0申请日期2019-09-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-11-22公开/公告号CN110484859A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C8/24IPC分类号C;2;3;C;8;/;2;4;;;C;2;3;C;8;/;0;2查看分类表>
申请人辽宁科技大学申请人地址
辽宁省鞍山市高新区千山路185号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人辽宁科技大学当前权利人辽宁科技大学
发明人周艳文;李金龙;陈雪娇;赵卓;吕哲;张开策;滕越;张晶;杨永杰;黄振;方方;张豫坤
代理机构鞍山嘉讯科技专利事务所(普通合伙)代理人徐喆
摘要
本发明涉及利用辉光放电低温等离子体法在钛合金表面渗氮的方法,包括以下步骤:1)TC4钛合金基体打磨抛光碱洗,酸洗;2)真空清洗:将基体悬挂于辉光低温等离子体渗氮设备的真空腔体中,抽真空,控制氩气流量,除多余空气;开照明,进一步除水蒸气;抽真空,真空腔体内加热,保温,进一步除水蒸气;真空腔体内通入氩气和氮气;脉冲等离子体清洗;3)渗氮;本发明方法简单易行,所需温度低且容易控制,不会对试样本身的组织及力学性能有影响。

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