对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封的装置、衬底处理设备及组装该装置的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201180018024.4
IPC分类号：C23C14/56;B29C37/00;F16K7/10;H01J37/18
申请日期：
2011-03-22
申请人：
应用材料公司

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专利名称	对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封的装置、衬底处理设备及组装该装置的方法
申请号	CN201180018024.4	申请日期	2011-03-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-12-19	公开/公告号	CN102834544A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;B;2;9;C;3;7;/;0;0;;;F;1;6;K;7;/;1;0;;;H;0;1;J;3;7;/;1;8查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	卡尔-海因里希·温克;沃克尔·海克
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	徐伟

摘要

本公开涉及一种对用于柔性衬底(16)的腔室入口(18)或腔室出口进行密封的装置(100)，该装置包括：具有密封表面(108)的本体(104)；形成在本体中的衬底开口(106)，其被构造为由柔性衬底横越；至少部分面向密封表面的弹性管(116)，其中弹性管具有用于连接气体供应源(136)的连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气。此外，本公开涉及一种用于组装对柔性衬底(16)的腔室入口或腔室出口进行密封的装置的方法，包括以下步骤：提供具有密封表面(108)的本体(104)，其中衬底开口(106)形成在本体中并被构造为由柔性衬底横越；将弹性管(116)插入本体中，使得弹性管(116)至少部分面对密封表面(108)，弹性管具有连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气；以及将弹性管的连接部连接到气体供应源(136)。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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