半导体清洗液管理装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110033084.5
IPC分类号：H01L21/00;B08B3/00
申请日期：
2011-01-30
申请人：
北京七星华创电子股份有限公司

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著录项信息

专利名称	半导体清洗液管理装置及方法
申请号	CN201110033084.5	申请日期	2011-01-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-10-05	公开/公告号	CN102208327A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;B;0;8;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	北京七星华创电子股份有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京七星华创电子股份有限公司	当前权利人	北京七星华创电子股份有限公司
发明人	郭训容;吴仪;裴立坤;昝威
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	王莹

摘要

本发明公开了一种半导体清洗液管理装置，包括：储液单元，用于储存清洗液；浓度液位检测单元，用于检测所述储液单元中清洗液的浓度及液位，并将检测到的浓度数据及液位数据传输给所述控制单元；控制单元，用于根据所述浓度数据及液位数据生成相应的控制信号，并将所述控制信号发送给所述执行单元；执行单元，用于根据所述控制信号执行所述储液单元的清洗液的排放、补充所述储液单元的化学药剂、补充所述储液单元的水、更换所述储液单元的清洗液、回收反应腔体的清洗液、以及供液给反应腔体的动作。本发明通过与反应腔体控制装置的结合，实现了对清洗液进行自动管理，并实现了在没有技术人员对清洗液进行管理的情况下，持续的进行清洗工艺。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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