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基座轴的真空泵吸

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02815295.6
  • IPC分类号:H01L21/00;H01L21/68
  • 申请日期:
    2002-07-31
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称基座轴的真空泵吸
申请号CN02815295.6申请日期2002-07-31
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-10-20公开/公告号CN1539158
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人桑盖·亚达夫;权原·尚;厄恩斯特·凯勒;威·张
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人柳春雷
摘要
在此所提供的是一种提高在将材料膜沉积到衬底的过程中所使用的基座的支撑板的平面度的方法,包括下列步骤:将附装到所述支撑板的下表面并与所述支撑板的下表面对接的轴的中空芯中的压力减小到低于大气压的水平;以及将包括所述基座的沉积室中的压力减小到将材料膜沉积到所述衬底上所要求的水平,其中作用于所述支撑板的下表面上的所述轴中空芯中的减小压力和作用于所述支撑板的上表面上的所述沉积室中的减小压力的组合由此来提高所述基座的所述支撑板的平面度。还提供了基座和将膜沉积到被固定至本发明的基座上的衬底上的方法。

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