加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

测量单元及净化气体的流量测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480005157.1
  • IPC分类号:H01L21/677;G01F1/00
  • 申请日期:
    2014-01-30
  • 申请人:
    村田机械株式会社
著录项信息
专利名称测量单元及净化气体的流量测量方法
申请号CN201480005157.1申请日期2014-01-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-09-23公开/公告号CN104937709A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;G;0;1;F;1;/;0;0查看分类表>
申请人村田机械株式会社申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人村田机械株式会社当前权利人村田机械株式会社
发明人村田正直;山路孝
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人庞乃媛;黄剑锋
摘要
本发明的测量单元测量收容了个数比平均数少的物品的容器(6)内的净化气体的流量。利用测量单元(30)测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量。测量单元(30)具备:基板(32);配置在基板(32)的底面、与搁板座(20)的喷嘴(24)接触、用来自基板(32)的载荷与喷嘴(24)之间保持气密的同时导入净化气体的气体导入部(36);具有测量净化气体流量的流量计(41)和电源(40)的电路部;相对于基板(32)沿上下方向位移自由、将测量单元(30)自重的一部分支承在搁板座(20)上的多个腿部(38)。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供