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抛光设备及其抛光治具

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910055147.X
  • IPC分类号:B24B29/02;B24B7/24;B24B13/005;B24B13/015
  • 申请日期:
    2009-07-21
  • 申请人:
    友达光电(苏州)有限公司;友达光电股份有限公司
著录项信息
专利名称抛光设备及其抛光治具
申请号CN200910055147.X申请日期2009-07-21
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2010-01-06公开/公告号CN101618521
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B29/02IPC分类号B;2;4;B;2;9;/;0;2;;;B;2;4;B;7;/;2;4;;;B;2;4;B;1;3;/;0;0;5;;;B;2;4;B;1;3;/;0;1;5查看分类表>
申请人友达光电(苏州)有限公司;友达光电股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市苏州工业园区苏虹中路398号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人友达光电股份有限公司,友达光电(苏州)有限公司当前权利人友达光电股份有限公司,友达光电(苏州)有限公司
发明人崔敏华;储中文;张其才;陈亚芬;黄业桂
代理机构上海光华专利事务所代理人余明伟
摘要
本发明提供一种抛光治具,藉以节省抛光过程所需耗费的时间,其包含模板及轴承。模板中间设置有轴承孔,且模板上具有数个槽孔以供基板穿设卡合,其中槽孔是相对于模板上承载基板的表面而倾斜地设置,而轴承是穿设于模板中间的轴承孔,并固定模板。此外,一种抛光设备亦在此揭露,藉以使面板或基板抛光后的质量趋于稳定。

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