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使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980053527.1
  • IPC分类号:H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213
  • 申请日期:
    2019-11-04
  • 申请人:
    株式会社LG化学
著录项信息
专利名称使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法
申请号CN201980053527.1申请日期2019-11-04
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-01公开/公告号CN112889134A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/3065
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5;;;H;0;1;L;2;1;/;3;1;1;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;1;3查看分类表>
申请人株式会社LG化学申请人地址
韩国首尔 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社LG化学当前权利人株式会社LG化学
发明人许殷奎;朴正岵;朴圣珉;韩尚澈;辛富建
代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司代理人王伟;李琳
摘要
本发明提供了一种使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法,通过该等离子体蚀刻方法能够有效地产生具有火焰形状的图案部。使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法包括以下步骤:通过在蚀刻基板的一个表面上执行第一等离子体蚀刻,以在通过金属掩模暴露的蚀刻基板的一个表面的部分区域上形成第一图案部;以及去除金属掩模,以使蚀刻基板的该一个表面相对于法拉第笼的底表面倾斜的同时将蚀刻基板的该一个表面放置于包括在其上表面上形成的网状部的法拉第笼中;以及进行第二等离子体蚀刻以将第一图案部形成为具有火焰形状的第二图案部。

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