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加工配套元件部件及其使用方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN01807079.5
  • IPC分类号:C23C16/44;C23C14/22
  • 申请日期:
    2001-03-27
  • 申请人:
    应用材料有限公司
著录项信息
专利名称加工配套元件部件及其使用方法
申请号CN01807079.5申请日期2001-03-27
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2003-07-23公开/公告号CN1432071
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;2查看分类表>
申请人应用材料有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料有限公司当前权利人应用材料有限公司
发明人S·C·克罗克
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司代理人赵蓉民
摘要
在可重复利用的加工配套元件部件上设置可见标记,在该部件经过清洁而从部件上除去沉积材料后,可根据该标记的清晰度而确定该部件是否在公差范围内。更具体地说,可重复利用的加工配套元件部件由一种材料制成,具有带第一高度的第一表面。可见标记形成于第一表面上并延伸至第二高度,其中,第一高度和第二高度之间的距离应使该标记可见,直到从部件上除去一定量的材料而使部件几乎超出公差范围为止。

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