温度调节装置及研磨装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201911191166.5
IPC分类号：--
申请日期：
2019-11-28
申请人：
株式会社荏原制作所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	温度调节装置及研磨装置
申请号	CN201911191166.5	申请日期	2019-11-28
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-05	公开/公告号	CN111230726A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社荏原制作所	申请人地址	日本国东京都大田区羽田旭町11番1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社荏原制作所	当前权利人	株式会社荏原制作所
发明人	本岛靖之
代理机构	上海华诚知识产权代理有限公司	代理人	肖华

摘要

本发明为温度调节装置及研磨装置，课题在于改善研磨装置中的研磨的面内均匀性。本发明提供一种温度调节装置，用于对旋转的研磨垫的温度进行调节，所述温度调节装置具备：传热体，该传热体能够与所述研磨垫的上表面接触；臂，该臂用于将所述传热体保持在所述研磨垫上；上游侧柱部件及下游侧柱部件，该上游侧柱部件及下游侧柱部件是竖立设置于所述传热体的上表面的柱部件，分别配置于成为所述研磨垫的旋转的上游侧的位置和成为所述研磨垫的旋转的下游侧的位置；以及伸出部件，该伸出部件从所述上游侧柱部件及下游侧柱部件沿与所述传热体的上表面平行的方向伸出，所述伸出部件能够与所述臂的上表面接触。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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