一种NISSIN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法及装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201611018094.0
IPC分类号：G06F11/36
申请日期：
2016-11-18
申请人：
上海华力微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种NISSIN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法及装置
申请号	CN201611018094.0	申请日期	2016-11-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-03-29	公开/公告号	CN106547697A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F11/36 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06F 电数字数据处理（基于特定计算模型的计算机系统入G06N） G06F11/00 错误检测；错误校正；监控（在基于记录载体和传感器之间的相对运动而实现的信息存储中的错误检测、校正或监控所用的方法或装置入 G11B 20/18；监控，即，监控记录或重现的进程入G11B 27/36；静态存储中所用的方法或装置入G11C29/00）〔1，4，2006.01〕 G06F11/36 通过软件的测试或调试防止错误〔7〕	IPC分类号	G;0;6;F;1;1;/;3;6查看分类表>
申请人	上海华力微电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江开发区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华力微电子有限公司	当前权利人	上海华力微电子有限公司
发明人	孙天拓;戴树刚;胡荣
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	智云

摘要

本发明公开了一种NISSIN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置及方法，该方法包括：接收用户的选择操作，选择目标机台服务器；于接收到用户的选择操作后，根据用户的选择操作从目标机台服务器下载待检查程式；采用先逐列遍历程式文件标题行、再逐行遍历程式文件的导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数，生成待检查参数报表；对程式及待检查参数进行正确性检查，输出检查结果，通过本发明，可以自动对NISSIN离子注入机台程式进行正确性检查，不仅节省人工检查时的人力，而且更能保证100％检出程式错误，避免程式错误造成的损失。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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