光子芯片测试系统光纤阵列微调装置、耦合装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010347749.9
IPC分类号：G01R31/28;G01R1/04;H04B10/073
申请日期：
2020-04-28
申请人：
天津蓝鳍科技有限公司;纤瑟（天津）新材料科技有限公司

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专利名称	光子芯片测试系统光纤阵列微调装置、耦合装置及方法
申请号	CN202010347749.9	申请日期	2020-04-28
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2020-07-10	公开/公告号	CN111398788A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8;;;G;0;1;R;1;/;0;4;;;H;0;4;B;1;0;/;0;7;3查看分类表>
申请人	天津蓝鳍科技有限公司;纤瑟（天津）新材料科技有限公司	申请人地址	天津市滨海新区开发区信环西路19号泰达服务外包产业园8号楼2层(天津滨海外包产业有限公司托管第3028号) 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津蓝鳍科技有限公司,纤瑟（天津）新材料科技有限公司	当前权利人	天津蓝鳍科技有限公司,纤瑟（天津）新材料科技有限公司
发明人	李静婷;赵复生;赵俊洋
代理机构	北京沁优知识产权代理有限公司	代理人	周庆路

摘要

本发明提供一种光子芯片测试系统光纤阵列微调装置，所述微调装置包括有垂直设置的第一角度调节机构与第二角度调节机构，所述微调装置可带动设置于所述微调装置上的光纤阵列在垂直的两个方向实现角度微调。本发明还提供一种光子芯片测试系统光纤阵列耦合装置，包括有微调装置以及与所述微调装置固定连接的位移台，位移台可实现对探针卡进行空间上三个方向的位置调整。基于光子芯片测试系统光纤阵列耦合方法，可使得光纤阵列良好的对准到芯片端面的光栅区间，从而使得测试过程更加稳定，结果更加准确。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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