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一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200610053955.9
  • IPC分类号:G01N21/00;G01M11/02
  • 申请日期:
    2006-10-25
  • 申请人:
    浙江大学
著录项信息
专利名称一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法
申请号CN200610053955.9申请日期2006-10-25
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2007-05-16公开/公告号CN1963460
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/00IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;0;0;;;G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人浙江大学申请人地址
浙江省杭州市西湖区浙大路38号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江大学当前权利人浙江大学
发明人韩高荣;刘涌;宋晨路;汪剑勋;刘军波;刘起英
代理机构杭州求是专利事务所有限公司代理人韩介梅
摘要
本发明涉及一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法,包括如下步骤:建立薄膜厚度h、折射率n、消光系数k与薄膜透射率、反射率的函数关系,与实测镀膜玻璃的可见光透射、反射光谱联立构成曲线拟和问题,利用模拟退火法、牛顿迭代法相结合的两步法求解这个曲线拟和问题,从而获得薄膜光学参数的测量结果。本发明与已有的相应技术相比,更适于镀膜玻璃薄膜的测量,具有快速准确的测量效果,测量结果稳定,而且方法简便易行,成本低廉。

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