具有铜/唑类聚合物抑制作用的微电子衬底清洁组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN201280059946.4
IPC分类号：C11D7/32
申请日期：
2012-10-05
申请人：
安万托特性材料股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有铜/唑类聚合物抑制作用的微电子衬底清洁组合物
申请号	CN201280059946.4	申请日期	2012-10-05
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2014-08-06	公开/公告号	CN103975052A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C11D7/32 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C11 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 C11D 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 C11D7/00 主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物 C11D7/22 有机化合物 C11D7/32 含氮的	IPC分类号	C;1;1;D;7;/;3;2查看分类表>
申请人	安万托特性材料股份有限公司	申请人地址	美国宾夕法尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安万托特性材料有限责任公司	当前权利人	安万托特性材料有限责任公司
发明人	C-P.S.许
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	秦剑

摘要

本发明涉及pH>8的半水性、碱性的微电子清洁组合物，包含：(A)至少一种与水接触时会产生氢氧化物的仲链烷醇胺；(B)以乙酸正丁酯的蒸发速率为基准速率1.0计，蒸发速率为0.3或更低的至少一种有机醇醚溶剂；(C)至少一种抑制腐蚀的环状酰胺化合物；(D)占组合物重量的0.08％或更低的至少一种平衡pH的唑类金属腐蚀抑制剂；和(E)水；以及任选的(F)至少一种多羟基酚类类化合物腐蚀抑制剂；和(G)包含邻位羟基或邻位巯基以与多羟基酚类类化合物腐蚀抑制剂进行配对的至少一种多元醇或多元硫醇表面改性剂。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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