加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

洗净装置以及洗净方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201080020516.2
  • IPC分类号:H01L21/673;G03F1/82
  • 申请日期:
    2010-04-13
  • 申请人:
    村田机械株式会社
著录项信息
专利名称洗净装置以及洗净方法
申请号CN201080020516.2申请日期2010-04-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-04-18公开/公告号CN102422408A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;G;0;3;F;1;/;8;2查看分类表>
申请人村田机械株式会社申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人村田机械株式会社当前权利人村田机械株式会社
发明人鹿田延秀;泉孝宪
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人田军锋;舒艳君
摘要
在洗净装置中缩短洗净动作时间。开盒器(21)是用于向具有盒罩(5)和开闭自如的底盖(7)的中间掩模盒(1)内供给清洁气体以及从中排出而进行洗净的装置,并具备载物台(25)、升降驱动机构(41)、锁机构(13)、以及给排部(49)。载物台(25)能够将底盖(7)从盒罩(5)上卸下以及将其安装于盒罩(5)。升降驱动机构(41)能够移动载物台(25)。锁机构(13)使锁部件(15)动作,该锁部件(15)将底盖(7)不能脱落地固定于盒罩(5)以及解除固定。给排部(49)在完成锁部件(15)将底盖(7)固定于盒罩(5)的动作之前,开始进行洗净。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供