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罩幕式只读存储器的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN02118036.9
  • IPC分类号:H01L21/8246
  • 申请日期:
    2002-04-18
  • 申请人:
    旺宏电子股份有限公司
著录项信息
专利名称罩幕式只读存储器的制造方法
申请号CN02118036.9申请日期2002-04-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2003-10-29公开/公告号CN1452237
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8246
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;6查看分类表>
申请人旺宏电子股份有限公司申请人地址
台湾省新竹科学工业园区力行路16号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旺宏电子股份有限公司当前权利人旺宏电子股份有限公司
发明人张庆裕
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人王学强
摘要
一种罩幕式只读存储器的制造方法,此方法提供已形成栅极介电层、埋入式位线的基底,接着于基底上形成字符线与字符线上的条状前置层,再定义条状前置层以形成多个前置编码凸块。然后,于前置编码凸块的间隙形成介电层,再于介电层与前置编码凸块上形成具有多个编码开口的罩幕层,且于编码开口中暴露出部分的前置编码凸块。其后,完全去除编码开口所暴露的前置编码凸块以形成前置编码开口。之后,于去除罩幕层后,再以介电层为编码罩幕,进行编码工艺以于基底中形成编码掺杂区。

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