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一种纳米金属氧化物材料的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911080056.1
IPC分类号：C01B13/32;C01G5/00;C01G9/03;C01G23/047;C01G45/02;C01G49/06;C01G53/04;B82Y40/00;B22F9/14
申请日期：
2019-11-07
申请人：
深圳第三代半导体研究院

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种纳米金属氧化物材料的制备方法
申请号	CN201911080056.1	申请日期	2019-11-07
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-03-06	公开/公告号	CN110862072A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B13/32 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B13/00 氧；臭氧；一般氧化物或氢氧化物 C01B13/14 制备一般氧化物或氢氧化物的方法（个别特殊氧化物或氢氧化物，见按与氧或羟基化合的元素分的C01B至C01G或C25B中有关各组） C01B13/32 用液态的或固态的单质或化合物的氧化或水解法〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;1;3;/;3;2;;;C;0;1;G;5;/;0;0;;;C;0;1;G;9;/;0;3;;;C;0;1;G;2;3;/;0;4;7;;;C;0;1;G;4;5;/;0;2;;;C;0;1;G;4;9;/;0;6;;;C;0;1;G;5;3;/;0;4;;;B;8;2;Y;4;0;/;0;0;;;B;2;2;F;9;/;1;4查看分类表>
申请人	深圳第三代半导体研究院	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1088号台州楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳第三代半导体研究院	当前权利人	深圳第三代半导体研究院
发明人	张昱;王泽鹏;叶怀宇;张国旗
代理机构	北京中知法苑知识产权代理有限公司	代理人	阎冬

摘要

本发明公开了一种纳米金属氧化物材料的制备方法，其方案为由依次连通的火花烧蚀装置和收集装置组成的制备系统，步骤一，使用火花烧蚀装置制备纳米金属，通过调节火花烧蚀装置电极两端所加电压的大小，来控制生成纳米金属颗粒的大小；步骤二，向制备系统通入空气，纳米金属与空气中的氧气发生反应生成纳米金属氧化物，并随空气的流动进入收集装置，最终沉积到收集装置指定区域的基底上。

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