样本检验的方法及其系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201911402710.6
IPC分类号：G01N21/95
申请日期：
2019-12-30
申请人：
应用材料以色列公司

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著录项信息

专利名称	样本检验的方法及其系统
申请号	CN201911402710.6	申请日期	2019-12-30
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2020-07-24	公开/公告号	CN111443094A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/95 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5查看分类表>
申请人	应用材料以色列公司	申请人地址	以色列雷霍沃特变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料以色列公司	当前权利人	应用材料以色列公司
发明人	埃拉德·科恩;沙哈尔·阿拉德
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;赵静

摘要

提供了一种在样本上进行检验的系统和方法，所述方法包括：获得管芯的检查图像并使用一个或多个参考图像生成缺陷图；从所述缺陷图选择多个缺陷候选；以及对于每个缺陷候选，生成相应修改后的检查图像图块，包括：分别从所述检查图像以及每个参考图像提取在所述缺陷候选周围的图像图块；以及修改所述检查图像图块，包括：估计表示所述检查图像图块上的强度变化的噪声，所述噪声包括表示所述检查图像图块与所述参考图像图块之间的多项式关系的第一类型的噪声、以及表示所述检查图像图块中的空间异常的第二类型的噪声；以及基于所估计的噪声来从所述检查图像图块去除所述第一类型的噪声和所述第二类型的噪声中的至少一种。

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