一种等离子表面清洁装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110247600.8
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2021-03-06
申请人：
东莞市峰谷纳米科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种等离子表面清洁装置
申请号	CN202110247600.8	申请日期	2021-03-06
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-18	公开/公告号	CN112820619A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	东莞市峰谷纳米科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市大岭山镇对面岭街31号7号楼801室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市峰谷纳米科技有限公司	当前权利人	东莞市峰谷纳米科技有限公司
发明人	高佳
代理机构	广州市一新专利商标事务所有限公司	代理人	刘兴耿

摘要

本发明是一种等离子表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体两端还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱一侧分别设有高压电源及电控箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本发明中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体反应后生成气体，不会对被清洗半导体表面造成残留；被清洗零件以转动的方式进入不同氛围进行清洗，大幅度提升了清洗效果，而且结构简单，使用方便；被清洗零件可以转动，能够使被清洗零件的不同位置直面等离子体，确保零件表面被清洗干净。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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