衬底处理装置及衬底处理系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110119190.9
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2021-01-28
申请人：
株式会社斯库林集团

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法律信息

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著录项信息

专利名称	衬底处理装置及衬底处理系统
申请号	CN202110119190.9	申请日期	2021-01-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-03	公开/公告号	CN113205990A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	株式会社斯库林集团	申请人地址	日本京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社斯库林集团	当前权利人	株式会社斯库林集团
发明人	墨周武
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	陈甜甜

摘要

本申请案涉及一种衬底处理装置及衬底处理系统。在处理容器内处理衬底的衬底处理装置中，防止因部件滑擦引起的扬尘污染衬底，且将盖部确实地锁定在容器主体。因此，衬底处理系统(1)具备：处理容器主体(12)；盖部(13)，可堵塞处理容器主体的开口；移动部(14)，使盖部相对于处理容器主体相对移动，而将开口打开及关闭；以及锁定机构(16)，将盖部锁定在处理容器主体。锁定机构具有：臂部(161)，在处理容器主体及盖部中的一侧向另一侧延设，且当盖部位于从处理容器主体离开的离开位置时，超出与处理容器主体的间隙空间延伸至另一侧；以及卡止部(162)，与臂部中当盖部位于离开位置时位于超出间隙空间的位置的部位卡合，限制臂部的位移。

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