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一种闭环控制靶台温度的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201610809333.8
IPC分类号：H01J37/304;H01J37/317
申请日期：
2016-09-08
申请人：
北京中科信电子装备有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种闭环控制靶台温度的方法
申请号	CN201610809333.8	申请日期	2016-09-08
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-03-16	公开/公告号	CN107808812A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/304 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/304 由来自物体的信息控制电子管的，如校正信号〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;0;4;;;H;0;1;J;3;7;/;3;1;7查看分类表>
申请人	北京中科信电子装备有限公司	申请人地址	北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科信电子装备有限公司	当前权利人	北京中科信电子装备有限公司
发明人	高婷婷
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种闭环控制靶台温度的方法，包括：工控机(1)、控制器(2)、冷却装置(3)、靶台(4)、PID算法(5)。本方法通过PID算法得到的靶台的温度值与温度设定值的比较，可以使得上位机对靶台温度的控制更加精确。说明书对一种闭环控制靶台温度的方法做出了详细说明，并给出了具体实施方案。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

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