基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台

发明专利有效专利

申请号：
CN201210574056.9
IPC分类号：F16M11/04;F16M11/18;F16F15/023;F16F15/02
申请日期：
2012-12-19
申请人：
哈尔滨工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台
申请号	CN201210574056.9	申请日期	2012-12-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-01	公开/公告号	CN103075618A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16M11/04 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16M 非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座；机座或支架 F16M11/00 用于器械或其上制品的作为支承的机台或支架（无头的入F16M 13/00；绘图板架或黑板架或类似架入A47B 97/04；展台入A47F 7/00；工作台入E04G 1/32；照明装置的支承，悬挂入F21V 21/00；为特殊的器械或产品而专门改进的见适当的小类） F16M11/02 头部 F16M11/04 器械的固定方法；器械相对于支架允许调整的方法	IPC分类号	F;1;6;M;1;1;/;0;4;;;F;1;6;M;1;1;/;1;8;;;F;1;6;F;1;5;/;0;2;3;;;F;1;6;F;1;5;/;0;2查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	谭久彬;闻荣伟;王雷;赵勃
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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