一种肖特基二极管氢气传感器芯体

发明专利有效专利

申请号：
CN202110155170.7
IPC分类号：G01N27/414
申请日期：
2021-02-04
申请人：
哈尔滨工业大学

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著录项信息

专利名称	一种肖特基二极管氢气传感器芯体
申请号	CN202110155170.7	申请日期	2021-02-04
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-28	公开/公告号	CN112858440A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/414 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/26 通过测试电化学变量；用电解或电泳法〔5〕 G01N27/403 电池和电极组件〔5〕 G01N27/414 对离子敏感的场效应晶体管或化学场效应晶体管，即ISFETS或CHEMFETS〔5〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;4;1;4查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	方海涛;李瑞武;李思佳
代理机构	北京格允知识产权代理有限公司	代理人	刘晓

摘要

本发明涉及一种肖特基二极管氢气传感器芯体。所述肖特基二极管氢气传感器芯体由四层结构和导电引线构成，四层结构依次是氢气裂解金属层、羟基扩散阻隔层、半导体层和集流体层，从氢气裂解金属层和集流体层分别引出导电引线。本发明中所述肖特基二极管氢气传感器芯体具有室温下抗湿度干扰的特殊性能，室温下气体环境中的水蒸气不会降低所述肖特基二极管氢气传感器芯体对氢气的灵敏度，克服了现有无羟基扩散阻隔层的普通氢气裂解金属层/半导体层肖特基二极管氢气传感器芯体在室温下湿度降低其氢敏性能的缺点。

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