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实现超宽带激发表面等离子体波导模式的蝴蝶结形天线

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710026073.1
  • IPC分类号:G02B6/122
  • 申请日期:
    2017-01-13
  • 申请人:
    上海理工大学
著录项信息
专利名称实现超宽带激发表面等离子体波导模式的蝴蝶结形天线
申请号CN201710026073.1申请日期2017-01-13
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-06-20公开/公告号CN106873075A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B6/122IPC分类号G;0;2;B;6;/;1;2;2查看分类表>
申请人上海理工大学申请人地址
上海市杨浦区军工路516号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海理工大学当前权利人上海理工大学
发明人文静;冯辉;吕亚婷;王康;刘仕良;张大伟
代理机构上海申汇专利代理有限公司代理人吴宝根
摘要
本发明涉及一种实现超宽带激发表面等离子体波导模式的天线结构,包括上下结构的二氧化硅基底层和银层,银层通过磁控溅射镀膜机沉积在低折射率的二氧化硅表面,银层为一拍子形状,拍面为一矩形,手柄为等宽带状,形成一个带状的条形波导;用聚焦离子束刻蚀出两个顶点正对的等腰三角形构成蝴蝶结形天线结构,聚焦的高斯光束垂直照射在蝴蝶型天线结构上,从而激发表面等离子体。本发明解决了现有技术中表面等离子低效激发的问题,激发光涵盖了大部分可见光波段,一直到近红外范围。其独特的宽带特性,将在下一代等离子集成芯片和功能器件中大量应用。

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