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一种利用激光加工的过滤膜及激光加工系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710331982.6
  • IPC分类号:B23K26/382;B23K26/70;B01D46/54
  • 申请日期:
    2017-05-11
  • 申请人:
    英诺激光科技股份有限公司
著录项信息
专利名称一种利用激光加工的过滤膜及激光加工系统
申请号CN201710331982.6申请日期2017-05-11
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2017-07-14公开/公告号CN106944751A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/382IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;3;8;2;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0;;;B;0;1;D;4;6;/;5;4查看分类表>
申请人英诺激光科技股份有限公司申请人地址
广东省深圳市南山区科技园北区朗山二路8号清溢光电大楼305(办公场所) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人英诺激光科技股份有限公司当前权利人英诺激光科技股份有限公司
发明人陶沙;赵晓杰
代理机构深圳市精英专利事务所代理人龙丹丹
摘要
本发明公开了一种利用激光加工的过滤膜,可用于过滤几百纳米至几百微米不同尺寸的污染颗粒。其应用范围广,当激光加工得到的过滤膜孔径小于污染颗粒效果更佳;还公开了一种用于加工所述过滤膜的激光加工系统,其包括顺次设置的激光器、扩束装置、衍射光学元件、振镜单元、透镜、载物机构以及相应的控制单元。通过对激光加工参数的选择,辅以振镜和载物机构,能够在选定材质的过滤膜上制得孔径几百纳米至几百微米不等的微孔阵列,该系统可用于加工过滤膜(网),其工作效率高、生产成本低,无工具损耗、微孔密度大,具有良好的过滤效果。

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