首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

用于电化学机械抛光的导电抛光物件

发明专利无效专利

申请号：
CN200480022037.9
IPC分类号：B24B37/04;H01L21/321
申请日期：
2004-06-07
申请人：
应用材料公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于电化学机械抛光的导电抛光物件
申请号	CN200480022037.9	申请日期	2004-06-07
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2006-09-06	公开/公告号	CN1829587
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/04 适用于加工平面的〔1，2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;1查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	胡永崎;阿莲恩·度布斯特;安托恩·P·玛恩斯;斯坦·D·蔡;保罗·D·布特尔菲尔德;王艳;丰·Q·刘;森·S·诺;陈梁韵;元·A·田;柯森厚;罗伯特·A·埃瓦得
代理机构	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人	赵飞

摘要

提供了用于处理衬底的抛光物件的实施例。在一个实施例中，用于处理衬底的抛光物件包括具有布置在其上的导电层的织物层。导电层可以是编织的或非编织的。导电层可以由软材料制成，并且在一个实施例中，暴露表面可以是平面的。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供