具有行移透镜多光束扫描仪的晶片缺陷检测系统

发明专利有效专利

申请号：
CN03809497.5
IPC分类号：G01N21/00
申请日期：
2003-03-14
申请人：
应用材料以色列有限公司

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著录项信息

专利名称	具有行移透镜多光束扫描仪的晶片缺陷检测系统
申请号	CN03809497.5	申请日期	2003-03-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2005-08-03	公开/公告号	CN1650160
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先）	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	应用材料以色列有限公司	申请人地址	以色列雷霍沃特变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料以色列有限公司	当前权利人	应用材料以色列有限公司
发明人	H·费尔德曼;E·叶利亚舍夫;N·埃尔马利亚克;R·纳夫塔利;B·戈德堡;S·赖因霍恩
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	赵蓉民

摘要

一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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