基板检查装置及利用其的基板检查方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201780062874.1
IPC分类号：H05K13/08;G01B11/24;H01L21/66
申请日期：
2017-09-25
申请人：
株式会社高永科技

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著录项信息

专利名称	基板检查装置及利用其的基板检查方法
申请号	CN201780062874.1	申请日期	2017-09-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-05-24	公开/公告号	CN109804731A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05K13/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05K 印刷电路；电设备的外壳或结构零部件；电气元件组件的制造（其他类目不包括的仪器零部件或其他设备的类似零部件入G12B；薄膜或厚膜电路入H01L 27/01，H01L 27/13；用于对印刷电路或印刷电路之间的电连接的非印刷方法入H01R；用于特殊类型设备的外壳或其结构零部件，见有关小类；仅包括单一工艺的加工方法，例如已列入其他类目的加热、喷射，见有关的类） H05K13/00 专门适用于制造或调节电元件组装件的设备或方法 H05K13/08 制造组装件的监测	IPC分类号	H;0;5;K;1;3;/;0;8;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	株式会社高永科技	申请人地址	韩国首尔市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社高迎科技	当前权利人	株式会社高迎科技
发明人	郑升源;崔钟镇
代理机构	北京青松知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	郑青松

摘要

基板检查装置包括：测量部，其获得测量数据；处理部，其以多个特征对象为基础，执行基板的翘曲补偿，检查翘曲被补偿的基板；显示部，其显示用于调节由翘曲补偿决定的检查速度的第一级别及翘曲补偿的精密度的第二级别所需的范围；及输入部，其从使用者接受输入检查速度的第一级别及精密度的第二级别作为交替换位关系的特定设置组合。处理部在设置检查速度及精密度时，在用于提高翘曲补偿精密度所需的多个选项中，指定成应用与设置的检查速度及精密度相应的特定选项。因此，能够提高使用者的便利性，使用者可以容易地设置歪曲补偿所需的选项。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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