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一种实现金刚石单晶衬底表面取向的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010444812.0
  • IPC分类号:B23K26/38;B23K26/362;B23K26/70;B23K37/04
  • 申请日期:
    2020-05-23
  • 申请人:
    山东大学
著录项信息
专利名称一种实现金刚石单晶衬底表面取向的方法
申请号CN202010444812.0申请日期2020-05-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-10-09公开/公告号CN111745305A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/38IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;3;8;;;B;2;3;K;2;6;/;3;6;2;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0;;;B;2;3;K;3;7;/;0;4查看分类表>
申请人山东大学申请人地址
山东省济南市历城区山大南路27号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东大学当前权利人山东大学
发明人彭燕;徐现刚;胡小波;王希玮;段鹏;韩晓桐
代理机构常德宏康亿和知识产权代理事务所(普通合伙)代理人周济妹
摘要
本申请提供了一种实现金刚石单晶衬底表面取向的方法,具体的,根据衬底的目标表面与体块金刚石的(100)晶面或者(111)晶面的夹角、以及所述衬底的目标取向,确定夹具的固定端面与定位端面之间的夹、确定所述固定端面相对于水平面的倾斜角以及定位端面在所述固定端面上的设置位置,然后,将所述体块金刚石设置在所述夹具上后,使激光沿水平方向入射至体块金刚石,以将该体块金刚石切割为片状的衬底。本申请通过固定端面与定位端面固定体块金刚石,来实现精确地表面取向控制,经过激光切割后获得取向明确的金刚石衬底材料,并且,该方法操作简单高效,可实现任意取向的金刚石衬底的制备。

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