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一种数字式差动型微加速度计

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610944688.8
  • IPC分类号:G01C19/5621
  • 申请日期:
    2016-10-26
  • 申请人:
    西安交通大学
著录项信息
专利名称一种数字式差动型微加速度计
申请号CN201610944688.8申请日期2016-10-26
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2017-01-25公开/公告号CN106352862A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01C19/5621IPC分类号G;0;1;C;1;9;/;5;6;2;1查看分类表>
申请人西安交通大学申请人地址
陕西省西安市长安区创汇路19号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人陕西麟德惯性电气有限公司当前权利人陕西麟德惯性电气有限公司
发明人赵玉龙;李波;李村;孙登强;赵建华
代理机构西安智大知识产权代理事务所代理人贺建斌
摘要
一种数字式差动型微加速度计芯片,包括具有质量块‑弹簧功能的硅基底和两根石英双端固定音叉,硅基底由质量块和支撑质量块的两根悬臂梁组成,质量块、悬臂梁组成质量块‑弹簧系统指的是沿着微加速度计芯片敏感方向,悬臂梁具有弹性特性,悬臂梁沿着质量块的对角线方向;石英双端固定音叉沿着质量块的另外一条对角线方向,两个结构相同的石英双端固定音叉处于差动方式布置,本发明能够消除温度对传感器的影响,提高传感器的非线性度,具有响应速度快、精度高等优点。

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