加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

校准装置以及校准方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710148913.8
  • IPC分类号:G02B27/10;G02B27/00;G02B21/00;G02B7/00;B41J25/24
  • 申请日期:
    2007-09-12
  • 申请人:
    精工爱普生株式会社
著录项信息
专利名称校准装置以及校准方法
申请号CN200710148913.8申请日期2007-09-12
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-03-19公开/公告号CN101144910
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B27/10IPC分类号G;0;2;B;2;7;/;1;0;;;G;0;2;B;2;7;/;0;0;;;G;0;2;B;2;1;/;0;0;;;G;0;2;B;7;/;0;0;;;B;4;1;J;2;5;/;2;4查看分类表>
申请人精工爱普生株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人精工爱普生株式会社当前权利人精工爱普生株式会社
发明人冈室琢磨;奥村资纪;太田睦彦;后藤和敏;柳泽功;稻冈靖雄
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人汪惠民
摘要
本发明提供一种校准装置以及校准方法,其能将光学机构的光轴容易地调整为正规的状态且有助于高精度的校准。本发明的校准装置包括:掩模(410),其为透明部件,设置有与校准标记(22)对位的基准标记(401);反射镜(700),其设置于掩模(410)和构件之间;光学机构,其光轴(L)从掩模(410)的与反射镜(700)相反的一侧经由基准标记(401)朝向反射镜(700)的方向,能同时观察基准标记(401)和映在反射镜(700)上的基准标记(401)的虚像;和调整机构,其根据通过光学机构进行的观察来进行光轴(L1、L2)的光轴调整,使得基准标记(401)的实像和映在反射镜(700)上的基准标记(401)的虚像(701)重合。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供