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一种用于ETPPECVD生产线的镂空石墨载板

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220280617.X
  • IPC分类号:C23C16/458
  • 申请日期:
    2012-06-15
  • 申请人:
    芶富均
著录项信息
专利名称一种用于ETPPECVD生产线的镂空石墨载板
申请号CN201220280617.X申请日期2012-06-15
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/458IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人芶富均申请人地址
贵州省贵阳市花溪区贵州大学北区教工集体宿舍 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人芶富均当前权利人芶富均
发明人芶富均
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种用于ETPPECVD生产线的镂空石墨载板结构,该石墨载板主要由镂空方格构成。在一矩形石墨板的中心区域加工有12个镂空方格,方格四周加工有凹槽,凹槽的角上加工有半圆台阶和矩形台阶,石墨板的上侧加工有传输磁铁固定孔和磁铁安装板定位孔,下侧加工有滑轮固定孔和定位孔。本实用新能有效提高硅片的加热效率和太阳能电池片的转换率,减少硅片在装卸过程中的破片率。

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