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介孔二氧化钛/氧化锌复合薄膜的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810035498.X
  • IPC分类号:H01L31/0264
  • 申请日期:
    2008-04-02
  • 申请人:
    中国科学院上海技术物理研究所
著录项信息
专利名称介孔二氧化钛/氧化锌复合薄膜的制备方法
申请号CN200810035498.X申请日期2008-04-02
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2008-11-26公开/公告号CN101312217
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/0264IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;0;2;6;4查看分类表>
申请人中国科学院上海技术物理研究所申请人地址
上海市玉田路500号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海技术物理研究所当前权利人中国科学院上海技术物理研究所
发明人陶俊超;孙艳;乐阳;葛美英;陈鑫;戴宁
代理机构上海新天专利代理有限公司代理人郭英
摘要
本发明公开了一种介孔二氧化钛/氧化锌复合薄膜的制备方法,该方法是在有机溶剂中,以嵌段聚合物模板,诱导钛的前驱体溶液和锌的前驱体水解并形成有机-无机均匀有序的介观结构,然后脱除模板同时使薄膜晶化,从而得到骨架为纳米晶的介孔复合薄膜。本发明的优点是:工艺简单,成本较低,且容易控制复合薄膜的组分;通过控制钛和锌的前驱体的加入量可调控复合介孔薄膜中TiO2和ZnO的含量。

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