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一种上下埋电极比例相反兰姆波谐振器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011503388.9
  • IPC分类号:H03H9/02;H03H9/145
  • 申请日期:
    2020-12-18
  • 申请人:
    广东广纳芯科技有限公司
著录项信息
专利名称一种上下埋电极比例相反兰姆波谐振器
申请号CN202011503388.9申请日期2020-12-18
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2021-04-06公开/公告号CN112615600A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H03H9/02IPC分类号H;0;3;H;9;/;0;2;;;H;0;3;H;9;/;1;4;5查看分类表>
申请人广东广纳芯科技有限公司申请人地址
广东省广州市黄埔区开源大道136号D栋1004室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东广纳芯科技有限公司当前权利人广东广纳芯科技有限公司
发明人许欣;李红浪;柯亚兵
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人蔡悦
摘要
本发明提供了一种上下埋电极比例相反兰姆波谐振器。兰姆波谐振器包括:高声速材料衬底;以及位于所述高声速材料衬底上方的压电层,所述压电层的上表面和下表面上分别设置有第一和第二叉指换能器,其中所述第一和第二叉指换能器的叉指电极隔着所述压电层在层叠方向上彼此相对,且具有相同的电极宽度、电极厚度、电极间距以及激发声波波长λ,其中所述第一和第二叉指换能器的叉指电极在厚度上被埋入所述压电层的比例分别为h1和h2,其中h1+h2=1。

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