光学薄膜测厚仪

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200820075443.7
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2008-07-24
申请人：
天津港东科技发展股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光学薄膜测厚仪
申请号	CN200820075443.7	申请日期	2008-07-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	天津港东科技发展股份有限公司	申请人地址	天津市南开区华苑产业园区鑫茂科技园G座EF单元二层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津港东科技发展股份有限公司	当前权利人	天津港东科技发展股份有限公司
发明人	张姝;孙双猛;牛旭文
代理机构	天津才智专利商标代理有限公司	代理人	吕志英

摘要

本实用新型提供一种光学薄膜测厚仪，该仪器包括有光源、电源、光纤光谱仪、光纤跳线、探头、样品台、水平调节旋钮以及USB接口，所述光源、电源、光纤光谱仪分别固定在该仪器壳体内后侧的安装板上；光纤探头安装在样品台上的横梁上，水平调节旋钮置于样品台的下方；所述光源、光纤光谱仪、探头分别连接光纤跳线；光纤光谱仪带有USB接口。有益效果是该仪器结构使光路方便调节，提高了测量精度，保证有足够的反射光进入光纤；使用光阑来调节测量光束的大小，操作简便，使仪器适用于不同的测试样品和条件，拓宽了仪器的适用性；样品台加入水平调节装置，保证光束严格垂直样品表面，而且使其能够测量不规则样品。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供