一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202210852879.7
IPC分类号：B24B37/34;H01L21/306;B24B1/00;B24B37/04;B24B37/30
申请日期：
2022-07-20
申请人：
华侨大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法
申请号	CN202210852879.7	申请日期	2022-07-20
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2022-10-21	公开/公告号	CN115213811A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/34 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/34 附件〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;;;B;2;4;B;1;/;0;0;;;B;2;4;B;3;7;/;0;4;;;B;2;4;B;3;7;/;3;0查看分类表>
申请人	华侨大学	申请人地址	福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华侨大学	当前权利人	华侨大学
发明人	陆静;徐胜通;罗求发;柯聪明;刘首麟
代理机构	厦门市首创君合专利事务所有限公司	代理人	张迪

摘要

本申请公开了一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法，载具包括光源底座、光源聚焦装置以及晶圆安装座；光源底座与晶圆安装座分别设置于光源聚焦装置的两端；光源底座用于安装在抛光机上，光源底座上安装有光源；光源聚焦装置包括防护罩、第一凸透镜以及第二凸透镜，第一凸透镜与第二凸透镜同轴间隔设置在防护罩内，防护罩内设置有驱动件，用于驱动第二凸透镜靠近或远离第一凸透镜运动；光源通过外部红外遥控开光控制其光照强度；晶圆安装座上设置有光强传感器，光强传感器用于将信号反馈至外部处理器，外部处理器将光照强度值显示在显示器上。本申请能够提高晶圆加工质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供