一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920991049.6
IPC分类号：G01H3/00;G01H11/08
申请日期：
2019-06-27
申请人：
中国电子科技集团公司第五十四研究所

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著录项信息

专利名称	一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器
申请号	CN201920991049.6	申请日期	2019-06-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01H3/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01H 机械振动或超声波、声波或次声波的测量〔4〕 G01H3/00 应用流体中的检测器测量振动（G01H 7/00，G01H 9/00，G01H 11/00优先）	IPC分类号	G;0;1;H;3;/;0;0;;;G;0;1;H;1;1;/;0;8查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第五十四研究所	申请人地址	河北省石家庄市中山西路589号中国电子科技集团公司第五十四研究所电子战变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第五十四研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第五十四研究所
发明人	董自强;张松;苗峻;胡天宇;李旭;王大宇;张晓桐
代理机构	河北东尚律师事务所	代理人	王文庆

摘要

本实用新型公开了一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器，属于MEMS传感器和矢量水听器技术领域。其包括硅基感知模块和玻璃基过载保护模块，其中硅基感知模块上设置有刚性轻质柱体，玻璃基过载保护模块用于限制刚性轻质柱体的运动范围。本实用新型解决了目前同振式矢量水听器在受到外界较大冲击情况下易发生敏感元件损坏的问题，同时解决了仿生型MEMS矢量水听器纤毛型感知元件安装限位、粘结胶容易溢出的问题，是对现有技术的一种重要改进。

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