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一种碲化锌粉末及其靶材的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110916079.2
  • IPC分类号:C04B35/515;C04B35/626;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/34
  • 申请日期:
    2021-08-10
  • 申请人:
    广东先导稀材股份有限公司
著录项信息
专利名称一种碲化锌粉末及其靶材的制备方法
申请号CN202110916079.2申请日期2021-08-10
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-21公开/公告号CN113416074A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C04B35/515IPC分类号C;0;4;B;3;5;/;5;1;5;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;6;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2;;;C;0;4;B;3;5;/;6;4;5;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人广东先导稀材股份有限公司申请人地址
广东省清远市清新区禾云镇工业区(鱼坝公路旁) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东先导稀材股份有限公司当前权利人广东先导稀材股份有限公司
发明人文崇斌;王英洁;朱刘;童培云
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人夏菁
摘要
本发明提供了一种碲化锌粉末的制备方法,包括以下步骤:将碲和锌分别置于气相沉积装置的加热区,使碲和锌不接触;对碲和锌分别进行加热,使二者进行气相反应,得到碲化锌粉末;具体的:对碲进行加热,控制温度从室温升温至1000~1050℃,升温时间70~100min;同时对锌进行加热,控制温度从室温升温至950~1000℃,升温时间70~100min。本发明通过气相反应直接制备得到了碲化锌粉末,其具有较高的纯度,可直接用于碲化锌靶材制备,得到的靶材相对密度大于98%,游离锌和游离碲小于200ppm。

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