阴极电弧蒸镀方式淀积类金刚石碳膜的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN99119465.9
IPC分类号：--
申请日期：
1999-09-29
申请人：
永源科技股份有限公司

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专利名称	阴极电弧蒸镀方式淀积类金刚石碳膜的制备方法
申请号	CN99119465.9	申请日期	1999-09-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2001-04-04	公开/公告号	CN1289861
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	永源科技股份有限公司	申请人地址	台湾省台中市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	永源科技股份有限公司	当前权利人	永源科技股份有限公司
发明人	汪大永
代理机构	北京中原华和知识产权代理有限责任公司	代理人	张华辉;寿宁

摘要

本发明采用阴极电弧蒸镀方式淀积类金刚石碳膜的制备方法，是利用CAE金属离子的高离子能量激发真空室中烃类气体的裂解反应而淀积高硬度、高润滑性的类金刚石碳膜，该碳膜由于内含金属成分而具有良好的韧性，另外淀积类金刚石碳膜之前可借助于同一金属弧源以CAE制备工艺先淀积一层或多层的金属、金属氮化物或金属碳化物中介层以强化类金刚石碳膜的附着性，再通过烃类气体与金属弧源等离子体产生烃类气体的裂解反应而淀积类金刚石碳膜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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