一种高效真空退火炉

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921870508.1
IPC分类号：C30B33/02
申请日期：
2019-11-01
申请人：
南京机电职业技术学院

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著录项信息

专利名称	一种高效真空退火炉
申请号	CN201921870508.1	申请日期	2019-11-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/02 热处理（C30B 33/04、C30B 33/06优先）〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;0;2查看分类表>
申请人	南京机电职业技术学院	申请人地址	江苏省南京市江宁区沧波门宝善寺路56号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京机电职业技术学院	当前权利人	南京机电职业技术学院
发明人	韦浩
代理机构	南京众联专利代理有限公司	代理人	周新亚

摘要

本实用新型公开了一种高效真空退火炉，包括主体、炉膛、真空泵和水冷机构，所述主体的一侧设置有炉门，所述炉门通过连接件与主体连接，所述主体的底部在靠近四侧边缘处设置有四个支撑腿，所述主体通过四个支撑腿固定安装于基座上，所述炉膛与主体之间间隔安装，所述炉膛的内部设置有加热元件，所述炉膛的底部设置有料台，所述真空泵设置有两个，两个所述真空泵固定安装于基座的两端，且两个真空泵的抽气管分别与主体底部的两端连通连接，所述水冷机构包括水箱、循环水管、冷凝器和抽水泵。本实用新型真空泵的工作效率高，可初步提高退火炉整体的工作效率，同时还设置有水冷机构，通过循环水管使炉膛快速降温，进一步的提高了整体的工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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