真空镀膜机用多路阀

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200420068901.6
IPC分类号：--
申请日期：
2004-10-10
申请人：
黄国兴

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法律信息

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著录项信息

专利名称	真空镀膜机用多路阀
申请号	CN200420068901.6	申请日期	2004-10-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	黄国兴	申请人地址	湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	黄国兴,湘潭宏大真空技术股份有限公司	当前权利人	黄国兴,湘潭宏大真空技术股份有限公司
发明人	黄国兴
代理机构	湘潭市汇智专利事务所	代理人	魏娟

摘要

本实用新型涉及一种双室真空镀膜机用多路阀。目前，真空镀膜多采用由一个扩散泵和一个三通歧管相连接，然后由两个高真空阀分别接到歧管法兰上，再由两个高真空阀分别接到两个真空室上，这个结构要有三个部件才能完成，常常使两个真空室分开得较远。本实用新型的阀体分为两层，一层为二个独立的高真空阀室，另一层为一三通歧管。把双真空室与精抽泵、粗抽泵之间实现了完整的连接，替代了过去常用的一个三通歧管和两个高真空阀的组合，使得双室镀膜机结构更紧凑，成本更低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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