一种悬浮式石墨烯薄膜结构的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010382893.6
IPC分类号：C01B32/194;H01L21/04;H01L21/027;G01L9/00;G01L1/00
申请日期：
2020-05-08
申请人：
西安交通大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种悬浮式石墨烯薄膜结构的制备方法
申请号	CN202010382893.6	申请日期	2020-05-08
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-07-17	公开/公告号	CN111422861A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B32/194 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B31/36 （转入C01B 32/956-C01B 32/991） C01B32/15 纳米级碳材料〔2017.01〕 C01B32/182 石墨烯〔2017.01〕 C01B32/194 后处理〔2017.01〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;2;/;1;9;4;;;H;0;1;L;2;1;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7;;;G;0;1;L;9;/;0;0;;;G;0;1;L;1;/;0;0查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市咸宁西路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	赵立波;李真;李支康;李磊;罗运运;杨萍;卢德江;王永录;王久洪;蒋庄德
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	孟大帅

摘要

本发明公开了一种悬浮式石墨烯薄膜结构的制备方法，包括以下步骤：步骤1，在铜基石墨烯薄膜表面涂PMMA，获得铜基/石墨烯/PMMA结构；步骤2，将步骤1获得的铜基/石墨烯/PMMA结构置入铜腐蚀液中，刻蚀去掉铜基底，获得PMMA/石墨烯结构；步骤3，将步骤2获得的PMMA/石墨烯结构转移到硅基空腔结构上，获得PMMA/石墨烯/硅结构；步骤4，在步骤3获得的PMMA/石墨烯/硅结构的PMMA表面旋涂光刻胶，光刻显影，氧等离子体图形化石墨烯结构，用丙酮去除光刻胶，获得悬浮式石墨烯薄膜结构。本发明能够低悬浮式石墨烯的加工制作难度，保证悬浮式石墨烯薄膜结构的覆盖完整性，成功率较高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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