用于热处理衬底的方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02814635.2
IPC分类号：H01L21/00;G01J5/06;C23C16/48;H05B3/00;C30B31/12
申请日期：
2002-05-23
申请人：
马特森热力产品有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于热处理衬底的方法和装置
申请号	CN02814635.2	申请日期	2002-05-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-29	公开/公告号	CN1533588
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;G;0;1;J;5;/;0;6;;;C;2;3;C;1;6;/;4;8;;;H;0;5;B;3;/;0;0;;;C;3;0;B;3;1;/;1;2查看分类表>
申请人	马特森热力产品有限责任公司	申请人地址	德国多恩施塔德变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	马特森热力产品有限责任公司	当前权利人	马特森热力产品有限责任公司
发明人	M·豪夫;C·施特里贝尔
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	苏娟;章社杲

摘要

为了以简单且经济的方法进行以高温计为基础的、对低温也能够实现的精确温度测量，本发明提供一种用于对衬底进行热处理的装置，具有：至少一个第一辐射源用于加热衬底；至少一个位于第一辐射源与衬底之间的透明遮热板，该遮热板减小第一辐射源辐射的给定波长范围；至少一个第二辐射源用于加热衬底，它至少以位于给定波长范围里的辐射辐射衬底；至少一个设置在第二辐射源一侧的、对准衬底的辐射检测器，它测量至少部分地在给定波长范围内部的由衬底发出的辐射强度；一个用于调制至少由第二辐射源发出的辐射的装置；一个用于确定从第二辐射源发出的辐射强度的装置。本发明还提供了用于对衬底进行热处理的方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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