施加固定作用力的原子力显微镜探针装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201811145481.X
IPC分类号：G01Q60/38
申请日期：
2018-09-20
申请人：
河南大学

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著录项信息

专利名称	施加固定作用力的原子力显微镜探针装置
申请号	CN201811145481.X	申请日期	2018-09-20
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2019-03-12	公开/公告号	CN109459590A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/38 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕 G01Q60/38 探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;3;8查看分类表>
申请人	河南大学	申请人地址	河南省开封市明伦街85号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河南大学	当前权利人	河南大学
发明人	赵慧玲;白莹;郁彩艳
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，利用真空吸附装置抵消探针重力，可有效避免换针过程中的脱针现象。通过设置具有狭槽贴片的施力件以及在探测针上设置相应的狭槽，狭槽贴片上设置弹性的施力装置，在探针座真空吸附探测针之后根据测试样品将狭槽贴片嵌入到狭槽中的特定位置，进而对探针微悬臂末端施加固定的作用力。弹性的施力装置实现了对探针微悬臂末端的弹性固定，有效地控制探针悬臂的固定状态，提高其灵敏度，提高了测试效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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