等离子处理装置和等离子处理方法

发明专利无效专利

申请号：
CN98122788.0
IPC分类号：--
申请日期：
1998-12-03
申请人：
松下电工株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	等离子处理装置和等离子处理方法
申请号	CN98122788.0	申请日期	1998-12-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1999-07-07	公开/公告号	CN1221967
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	松下电工株式会社	申请人地址	日本大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松下电工株式会社	当前权利人	松下电工株式会社
发明人	澤田康志;山崎圭一;井上吉民;岡崎幸子;小駒益弘
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	孙敬国

摘要

本发明揭示一种等离子处理装置和等离子处理方法。包括具有外侧电极1的筒状反应管2及配置在反应管2内部的内侧电极3，反应管2内引入惰性气体或惰性气体与反应气体的混合气体，同时在外侧电极1与内侧电极3之间加上交流电场，通过这样在大气压下使反应管2内部产生辉光放电，从反应管2喷出等离子喷气，并在外侧电极及内侧电极的至少一方设置冷却装置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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