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半导体装置制造用薄膜卷

发明专利有效专利

申请号：
CN200980147958.0
IPC分类号：C09J7/02;H01L21/301;H01L21/52
申请日期：
2009-11-24
申请人：
日东电工株式会社

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	半导体装置制造用薄膜卷
申请号	CN200980147958.0	申请日期	2009-11-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-10-26	公开/公告号	CN102227482A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09J7/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09J 黏合剂；一般非机械方面的黏合方法；其他类目不包括的黏合方法；黏合剂材料的应用（外科黏合剂入A61L 24/00；在层状产品中用作黏合剂的基于未指明的有机高分子化合物的黏合剂入B32B；使用黏合剂或热熔黏合剂在织物或具有可变形表面的类似物料或物件上贴标签，分别入B65C 5/02，B65C 5/04；动物胶或明胶的制备入C09H ；带黏性的标签、签条或类似识别指示装置入G09F 3/10）〔5〕 C09J7/00 薄膜或薄片状的粘合剂〔1，2006.01，2018.01〕 C09J7/02 （转入C09J 7/20-C09J 7/50）	IPC分类号	C;0;9;J;7;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;1;;;H;0;1;L;2;1;/;5;2查看分类表>
申请人	日东电工株式会社	申请人地址	日本大阪变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日东电工株式会社	当前权利人	日东电工株式会社
发明人	三隅贞仁
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	王海川;穆德骏

摘要

本发明的半导体装置制造用薄膜卷，通过将半导体装置制造用薄膜以卷筒状卷绕在圆柱状的卷芯上而得到，其特征在于，所述卷芯的直径在7.5cm～15.5cm的范围内。

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