一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201610379091.3
IPC分类号：H01L23/544;H01L51/56
申请日期：
2016-05-31
申请人：
京东方科技集团股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置
申请号	CN201610379091.3	申请日期	2016-05-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-17	公开/公告号	CN105870103A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L23/544 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L23/00 半导体或其他固态器件的零部件（H01L 25/00优先）〔2，5〕 H01L23/544 加到半导体器件上的标志，例如注册商标、测试图案〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;3;/;5;4;4;;;H;0;1;L;5;1;/;5;6查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司
发明人	田宏伟;牛亚男;刘亮亮;张朝波;绰洛鹏
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	黄志华

摘要

本发明涉及显示技术领域，提供了一种对位标记及其制备方法、基板、显示面板、显示装置，对位标记包括防护墙和用于与掩膜板之间进行对位的对位标记主体，所述对位标记主体位于所述防护墙围成的内部区间内。本发明提供的对位标记中，对位标记主体用于与掩膜板进行对位，并且，对位标记主体位于防护墙围成的内部区间内，防护墙的存在能够减少对位标记主体周边的图案密度与结构层中心位置图案密度之间的差异，进而减少了在蚀刻过程中刻蚀液对于对位标记主体图形造成的偏差影响，从而能够提高掩膜板与结构层之间的对位精度，提高后续对位精度。

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