一种电弧汽相淀积的装置

发明专利无效专利

申请号：
CN91105730.7
IPC分类号：--
申请日期：
1991-08-21
申请人：
南开大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种电弧汽相淀积的装置
申请号	CN91105730.7	申请日期	1991-08-21
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	1993-03-10	公开/公告号	CN1069777
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	南开大学	申请人地址	天津市卫津路94号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南开大学	当前权利人	南开大学
发明人	刘维一
代理机构	南开大学专利事务所	代理人	孙克忱

摘要

一种电弧汽相淀积的装置涉及电弧汽相淀积技术领域。本发明解决了利用有限的工作室内空间放置较多的基片，来提高空间的利用率的技术问题。本发明的主要技术特征是；阳极呈筒状或钟罩形，阴极呈柱形，阳极和阴极的长度基本一致，阳极以阴极为轴并同轴放置，基片位于阳极和阴极之间。在阳极和阴极之间的区域内可以施加磁场，用来约束和移动阴极表面上的弧斑，为了防止息弧，在阴极两端处施加了阻挡壁。这种设备可用于TiN膜的制备，也可用于制备其它膜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供