一种绿色无催化剂法制备氮化镓纳米线的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810319100.9
IPC分类号：--
申请日期：
2018-04-11
申请人：
北京工业大学

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专利名称	一种绿色无催化剂法制备氮化镓纳米线的方法
申请号	CN201810319100.9	申请日期	2018-04-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-10-02	公开/公告号	CN108611679A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	北京工业大学	申请人地址	北京市朝阳区平乐园100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京工业大学	当前权利人	北京工业大学
发明人	王如志;冯晓宇;姬宇航;张铭;王波;严辉
代理机构	北京思海天达知识产权代理有限公司	代理人	刘萍

摘要

一种绿色无催化剂制备氮化镓纳米线的方法，属于无机化合物半导体材料制备与生长方法领域。本发明通过等离子增强化学气相沉积系统(PECVD)，在不使用任何催化剂条件下，以绿色无污染的N2作为氮源制备性能优异的一维线状的GaN纳米结构。本发明成本低廉，工艺简单，以抛光石墨为衬底，金属镓和碳粉为前驱体。在PECVD系统中，调节反应气压为30Pa‑50Pa；反应温度为825℃‑875℃；N2流速10‑40cm3/min；H2流速5‑10厘米cm3/min；射频电源功率80W‑120W，反应1‑3h得到产物。产物为六方纤锌矿结构的一维GaN纳米线，具有典型的紫光发光特征和优异的场发射性能。

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